Ts'ebetsong ea ho tlosa mouoane ho tloha ho Plasma ho ea ho Chemical Vapor Deposition (PECVD), khokahano e 'ngoe le e 'ngoe ea motlakase, ho tloha phetisong ea matla a RF ho ea taolong ea khase ea ts'ebetso, e ama ka kotloloho ho ts'oana ha ho beoa ha filimi e tšesaane le tlhahiso ea chip. Ha re tobane le tikoloho e thata ea lisebelisoa tse nyane, vacuum e ngata, le tšitiso e matla ea motlakase,WAGOLihokelo tsa picoMAX®, ka melemo ea tsona e meraro ea mantlha ea "ho teteana, ho tšepahala, le ho sebetsa hantle," li fetohile tharollo e ntle ea khokahano bakeng sa litsamaiso tsa PECVD.
Moralo o Monyenyane o Ncha
Ho Ikamahanya le Meralo ea Kamore e Nepahetseng
Sebaka sa kahare sa lisebelisoa tsa PECVD se lekanyelitsoe, se hloka tokisetso e teteaneng ea matla, lets'oao le mela ea ho utloa ho potoloha kamore ea karabelo. picoMAX® e sebelisa moralo oa selemo se le seng, o sebetsang habeli, o nang le li-pin pitches tse ngata tsa 3.5/5.0/7.5mm tse fumanehang. Kamora ho kopana, e nka sebaka se ka tlase ho 30% ho feta lihlahisoa tse fetileng, e ikamahanya hantle le litlhoko tsa terata ho potoloha kamore. Sehokelo sa eona sa mofuta oa lesoba se batla se kentsoe ka botlalo hloohong ea pin, se tšehetsa kopano e bapileng ntle le tahlehelo ea lipalo, se ntlafatsa haholo ts'ebeliso ea boto ea potoloho le ho lumella tokisetso e hlophisehileng ea lets'oao le mela ea motlakase ntle le ho sitisa ts'ebetso ea ts'ebetso ea phallo ea khase.
Tšireletso e Matla Khahlanong le Maemo a Feteletseng a Ts'ebetso
Mekhoa ea PECVD e kenyelletsa vacuum e phahameng, plasma e nang le maqhubu a phahameng, le libaka tsa ho thothomela, e leng se behang litlhoko tse thata ho ts'epahalo ea sehokelo. PicoMAX® e na le sebopeho se tsitsitseng se nang le khanyetso ea ho thothomela ea ho fihla ho 12g, e thibelang ho hlepha ha khokahano ho bakoang ke ho thothomela ha maqhubu a phahameng. E boetse e kenyelletsa moralo o thibelang ho kenngoa hampe le sesebelisoa sa ho notlela, e felisa liphoso tsa ho kenya le ho thibela ho khaoloa ka phoso, e netefatsa ts'ebetso e tsoelang pele ea lisebelisoa ntle le nako ea ho sebetsa.
Kgokelo e Potlakileng e se Nang Lisebelisoa
picoMAX® e na le theknoloji ea ho hokela kapele e se nang lisebelisoa, e lumellang likhokahano tsa "plug-and-hold" bakeng sa lithapo tsa khoele e le 'ngoe le tse nang le likhoele tse ngata tse nang le lihokelo tse hatelletsoeng ka serame. Likhokahano tse rarahaneng tsa lithapo li phethoa ka mohato o le mong, li ntlafatsa haholo katleho ea kopano le ho khutsufatsa lipotoloho tsa ho lokisa liphoso. Moralo oa modular o lumellana le lits'ebetso tsa ho kopanya hape, o fihlela litlhoko tsa phokotso ea litšenyehelo tsa tlhahiso e iketsang. E boetse e akaretsa maemo 'ohle a khokahano ea PECVD: pitch ea 3.5mm pin e amohela lithapo tsa matšoao tsa 0.2-1.5mm², ha pitch ea 5.0/7.5mm pin e tšehetsa lithapo tsa motlakase tsa 16A. E tšehetsa mekhoa ea ho kenya terata ho tloha boto ho ea boto le leboteng, e lumellana le likhoele tsa taolo le likhoele tsa cavity, 'me e latela maemo a polokeho ea motlakase a GB/T 5226.1, e haha ts'ireletso e tiileng bakeng sa botsitso ba ts'ebetso.
Indastering ea semiconductor, moo ho nepahala ha ts'ebetso ea boemo ba nanometer ho leng bohlokoa ka ho fetisisa, likhokahano tse tšepahalang ke tiiso ea chai e ngata.WAGOpicoMAX®, ka mohopolo oa eona oa moralo oa sehlahisoa o fetohang, e fihlella "boholo bo bonyenyane, ts'ebetso e phahameng" ka har'a sebaka se senyenyane, e fana ka litharollo tsa khokahano tse tsitsitseng, tse sebetsang hantle le tse tšoarellang nako e telele bakeng sa lisebelisoa tsa PECVD. Sena se thusa bahlahisi ba semiconductor ho hlola liphephetso tsa likhokahano tsa ts'ebetso e nepahetseng, ho sireletsa ho nepahala ha boemo ba micrometer ba chip e 'ngoe le e 'ngoe.
Nako ea poso: Hlakubele-13-2026